Double -sided sputtering at electron beam evaporation pinagsama vacuum roll coating system - mahusay at tumpak na manipis na teknolohiya ng patong ng pelikula

Ito Vacuum Coater ay isang advanced na kagamitan para sa patong sa ilalim ng mataas na mga kondisyon ng vacuum. Pinagsasama nito ang dobleng panig na sputtering at teknolohiya ng pagsingaw ng electron beam, at maaaring mahusay at tumpak na magdeposito ng mga manipis na pelikula sa mga ibabaw ng iba't ibang mga substrate. Malawakang ginagamit ito sa paggawa ng mga metal coatings tulad ng tanso at aluminyo. Sa pamamagitan ng sistemang ito, ang mataas na kalidad na patong ng dobleng panig na tanso at aluminyo na coatings ay maaaring makamit, na partikular na angkop para sa mga malalaking pangangailangan sa paggawa. Ang kapasidad ng produksiyon ng sistemang ito ay maaaring umabot ng halos 710,000 square meters bawat buwan, na maaaring mahusay na matugunan ang mga pangangailangan ng malakihang paggawa. Ang epektibong lapad ng patong nito ay 1300mm, at ang bilis ng linya ay hanggang sa 15 metro bawat minuto. Maaari itong makamit ang uniporme at high-precision manipis na pag-aalis ng pelikula sa panahon ng proseso ng patong. Kung ito ay produksyon ng masa o mga produktong may mataas na katumpakan, maaari itong magbigay ng matatag at mahusay na pagganap.

Pinagsasama ng proseso ng patong ang pagsingaw ng beam ng elektron at teknolohiya ng sputtering. Sa isang vacuum na kapaligiran, ang mga high-energy electron o lasers ay binomba ang target na materyal, upang ang mga ibabaw na atom o mga ion ay idineposito sa substrate sa anyo ng pag-aalis ng singaw, na bumubuo ng isang manipis na pelikula na may mahusay na pagganap. Ang pagsingaw ng electron beam ay isang teknolohiya na bumubuo ng isang manipis na pelikula sa isang substrate sa pamamagitan ng pagpainit ng isang target na materyal na may isang beam ng elektron at pagsingaw nito. Sa prosesong ito, ang electron beam ay pinabilis sa isang napakataas na antas ng enerhiya at pagkatapos ay nakatuon sa ibabaw ng target na materyal. Ang target na materyal ay mabilis na pinainit sa punto ng pagsingaw, at ang mga atomo o molekula sa ibabaw ay pinakawalan sa gas na form at idineposito sa cooled substrate upang makabuo ng isang manipis na pelikula. Ang teknolohiya ng sputtering ay isang teknolohiya na binomba ang target na materyal na may mga partikulo na may mataas na enerhiya, upang ang mga ibabaw ng atom o mga ion ay pinakawalan sa anyo ng mga kumpol ng atom at idineposito sa substrate. Karaniwan, ang proseso ng sputtering ay isinasagawa sa isang mababang presyon ng kapaligiran, gamit ang mga ions o electron beam upang ibomba ang target na materyal, upang ang mga atomo sa ibabaw ng target na materyal ay natanggal at bumubuo ng isang manipis na pelikula. Sa proseso ng patong, ang teknolohiya ng pagsingaw ng electron beam ay maaaring mahusay na magdeposito ng layer ng metal, habang ang teknolohiya ng sputtering ay maaaring makamit ang pantay na pag -aalis ng mga functional manipis na pelikula. Ang kumbinasyon ng dalawa ay maaaring makabuluhang mapabuti ang kahusayan ng produksyon, bawasan ang basura ng materyal at mabawasan ang mga gastos.

Ang komposisyon ng layer ng pelikula ay may kasamang isang layer ng pagdirikit (SP), isang electrode layer tanso (pagsingaw) at isang proteksiyon na layer (SP), na nagsisiguro ng mataas na pagdirikit at matatag na elektrikal na kondaktibiti ng pelikula. Upang matiyak ang mataas na pagganap ng pelikula, ang kagamitan ay nagbibigay ng tumpak na kontrol sa kapal ng pelikula, na may katumpakan ng pamamahagi ng kapal ng pelikula ng ± 10%, na mahalaga para sa hinihingi na mga aplikasyon. Tinitiyak ng tumpak na control ng kapal ng pelikula ang pagkakapareho ng pelikula sa iba't ibang mga lugar, pag -iwas sa mga pagkakaiba -iba sa kondaktibiti o iba pang mga problema sa kalidad na dulot ng hindi pantay na mga layer ng pelikula. Bilang karagdagan, ang paglaban sa pelikula ay maaaring kontrolado sa 25m Ω , na kung saan ay mas mababa kaysa sa paglaban ng maraming mga tradisyunal na materyales, na tinitiyak na ang patong ay may napakataas na kondaktibiti. Sa pamamagitan ng tumpak na pagkontrol sa paglaban, masisiguro na ang produkto ay nagpapanatili ng mahusay na kondaktibiti sa panahon ng pangmatagalang paggamit, pag-iwas sa pagbagsak ng kahusayan ng kagamitan o pagkabigo dahil sa labis na pagtutol.

Ang kagamitan ay maaaring pinahiran sa iba't ibang mga substrate, kabilang ang mga pelikulang PET/PP, na may saklaw na kapal ng 3 μ m hanggang 12 μ m. Kung ito ay nababaluktot na electronics, solar cells, touch screen, sensor at iba pang mga patlang, maaari itong magbigay ng mataas na kalidad na mga epekto ng patong. Ang operating air pressure ng system ay pinananatili sa isang mababang saklaw ng presyon ng 0.005 hanggang 0.01Pa, tinitiyak ang tumpak na pagproseso ng patong sa isang kapaligiran ng vacuum. Kasabay nito, nilagyan ito ng teknolohiya ng paggamot sa ibabaw ng bomba upang higit na mapabuti ang pagdirikit sa pagitan ng layer ng pelikula at ang substrate, tinitiyak ang tibay at mataas na pagganap ng patong.